精密平臺的制作特點

精密平臺：
         一種五自由度精密定位平臺，采用壓電驅動器驅動，其特征在于該平臺由基體及其底部的**支座和**支座構成，該基體包含**動平臺、**動平臺和第三動平臺，其中**動平臺實現x方向平動，**動平臺實現y方向平動，第三動平臺實現z軸轉動，**支座和**支座單獨伸長，通過伸長量的同異帶動基體實現z方向平移和一維轉動，
         所述的第三動平臺分別通過**轉動副柔性鉸鏈和**轉動副柔性鉸鏈與底部的**支座和**支座連接。本發明五自由度精密定位平臺，可以實現納米級的定位精度，而且具有易于加工、結構緊湊、體積小、位移分辨率高、頻率響應快和控制簡單的特點。
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精密平臺的制作特點